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microme|x 微焦点X光检测系统
亚微米级高分辨率自动化X光检测系统，用于焊点及电子元器件的二维检测和计算机断层扫描成像(CT)。
microme/x 主要性能参数
系统放大倍数和分辨率
几何放大倍数 可达2,160倍
总放大倍数 不使用软件放大时可达23,320倍
细节分辨能力 < 1微米
X射线管
类型 开管，发射式管头，170度锥角，准直功能
阳极 无毒钨靶，可旋转以多次使用
阴极 钨丝；预校灯丝快锁式阴极(座)，即插即用。
真空系统 无油式涡轮分子真空泵
最大管电压 180kV
最大管功率 20W
剂量率稳定性 <0.5% / 8h
